412 Prakt. Met. Sonderband 38 (2006) 
manuelles Schleifen und Polieren ohne Hilfsmittel (visuelle Begutachtung, J 
Genauigkeit abhängig vom Erfahrungsstand des Anwenders; u.U. sehr 
zeitaufwéndig) n: 
manuelles Schleifen und Polieren mit Hilfsmittel (TriPod, Genauigkeit abhängig vom 5 
Erfahrungsstand) ‘ 
manuelles Schleifen und Polieren mit Hilfsmittel (AccuStop, AccuStop-T, AccuMeter, 
Genauigkeit ca. 20um) 
halbautomatisches Schleifen und Polieren mit entsprechender S+P-Maschine und 
Hilfsmittel (Accustop mit Tegra-System, Genauigkeit ca. 20um) 
halbautomatisches S+P-System mit Abtragssensor (AbraPlan/ AbraPol, 
Genauigkeit <100um) 
vollautomatisches S+P-System mit Abtragssensor (Prepamatic-2, Genauigkeit 
>100um) 
halbautomatisches Frässystem für Leiterplatten mit Spezialprobenhalter 
(ViaSampler und ViaKit, Genauigkeit 20um) 
halbautomatisches Zielpräparationssystem mit Lasermessstation (Target-System, 
Genauigkeit +5um). 
Demzufolge können die Zielpräparationssysteme, die in der Materialografie zum Einsatz 
kommen, in 3 grobe Klassen eingeteilt werden: 
Hilfsmittel für die manuelle und halbautomatische Präparation 
Systeme mit Abtragssensor 
Systeme mit optischen Messsystemen 
Eine Sonderstellung bei der Zielpräparation nimmt die Kenntnis des Abtragsverhaltens 
und speziell der Abtragsraten der Verbrauchsmaterialien (Unterlagen und Suspensionen) - 
ein. Diese Kenntnis kann im Zusammenspiel mit allen anderen Systemen vorteilhaft 
eingesetzt werden, aber auch eine Zielpräparation allein auf Basis dieser Werte ist 
möglich. 
2.1. Hilfsmittel für die manuelle und halbautomatische Präparation 
Manuelle Präparationen können innerhalb eines weiten Genauigkeitsbereiches mit 
verschiedenen Hilfsmitteln durchgeführt werden. Die einfachste Möglichkeit ist das TriPod- 
System. Dieses System gibt es als P-Variante (für parallele Schliffe) oder X-Version (zur 
Herstellung von Querschliffen). Dabei werden die Proben uneingebettet auf einen Halter 
geklebt. Mittels einer einfachen Justierschraube kann die Parallelität zur Zielebene 
hergestellt werden (Abb. 2). 
Der Halter wird nur mit der Hand und dem Eigengewicht geführt. Geeignet ist dieses 
System vor allem dort, wo sehr kleine Flächen an uneingebetteten Proben bearbeitet 
werden müssen und nur ein geringer Abtrag notwendig ist. Geschliffen und poliert wird auf 
Diamant- und Aluminiumoxidfolien, die eine sehr begrenzte Abtragsleistung haben. 
Aufgrund der groben Justierung und der fehlenden Stütz- und Schutzwirkung von 
Einbettmassen ist eine exakte Ausrichtung nicht möglich, so dass hier auch die Erfahrung 
des Anwenders den größten Einfluss auf das Schliffergebnis (Genauigkeit, Schliffgüte, 
Probenplanheit, Reproduzierbarkeit) hat. 
Ein weiteres Hilfsmittel ist der AccuStop. Prinzipiell stellt der AccuStop eine Vorrichtung 
dar, der bedingt durch einen keramischen Stop-Ring einen zuvor definierten Abtrag 
ermöglicht.