Prakt. Met. Sonderband 38 (2006) 413 
htung, Allerdings können nur eingebettete Proben bearbeitet werden. Der mögliche 
sehr Gesamtabtrag beträgt ca. 13mm, wobei die Genauigkeit auf ca. 20um begrenzt ist. Für die 
i nachträgliche Ausrichtung der Zielebene kann der AccuStop-T verwendet werden, der es 
ig vom ermöglicht, die Parallelitét der Ziel- zur Schliffebene mittels 3 Stellschrauben einzustellen 
(Abb. 4). Der erreichte Abtrag kann dann entweder anhand der Skalierung oder mit Hilfe 
uMeter, eines AccuMeters (Messuhraufsatz) kontrolliert werden (Abb. 5). 
1e und 
raPol, 
uigkeit 
nhalter 
ystem, 
;Insatz Abb. 3 Abb. 4 Abb. 5 
Speziell für elektronische Bauteile und bestückte Platinen bietet sich der AccuStop an, er 
kann aber auch für alle anderen Arten der Zielpräparation, bei denen eine Einbettung nicht 
störend ist, eingesetzt werden. Sind die Fehlerkoordinaten ausgehend von einer 
‚altens Bezugsebene bekannt (die Bezugsebene ist hier immer die initiale Schliffebene), können 
ionen) auch nicht sichtbare Ziele prapariert werden. Die Reproduzierbarkeit ist innerhalb der 
‚eilhaft Genauigkeit hoch und es können sehr plane Oberflächen erzielt werden. Aufgrund des 
‘te ist voreingestellten maximalen Abtrags (definiert durch den Keramikring) kann innerhalb sehr 
1 kurzer Zeit auf die Zielebene geschliffen werden, was einen Zeitvorteil gegenüber dem 
Schleifen ohne Hilfsmittel darstellt, bei dem immer wieder optisch kontrolliert werden muss. 
Dem zugute kommt auch, dass zum Planschleifen nur SiC-Papiere verwendet werden 
können, gegen die der Keramikring verschleißresistent ist. Dadurch kann der Vorteil des 
hohen Anfangsabtrags des Papiers für das Entfernen größerer Materialmengen 
‚mit ausgenutzt werden. 
iPod- Ein weiterer Vorteil des AccuStops liegt darin, dass er auch fir die Préparation mit einem 
n (zur halbautomatischen Schleif- und Poliersystem verwendet werden kann. 
Halter 
ebene 2.2. Systeme mit Abtragssensor 
one : Systeme mit Abtragssensor sind ausschließlich für die halbautomatische und 
rd auf vollautomatische Probenpräparation konzipiert. Hierbei handelt es sich meist um ein 
oben Messmodul, welches in die Schleif- und Poliermaschine integriert wird und den Abtrag in 
von situ kontrolliert. 
run Bei der Prepamatic-2 basiert das System auf einem Dehnungsmessstreifen für die 
ff un Kraftmessung, der indirekt für die Bestimmung des Weges der Probenhaltersäule genutzt 
gue, wird. Dieses relativ einfache System ermöglicht Genauigkeiten >100um. Zu beachten ist, 
niin dass eine Veränderung der Unterlage (weiche Tücher oder auch schnell verschleißende 
ay Materialien wie SiC-Papiere) das Ergebnis negativ beeinflussen kann, da die relative 
9 Bewegung des Probenhalters nicht zu 100% mit dem wahren Probenabtrag korreliert. Der 
Einsatz eines solchen Systems beschränkt sich daher auf Anwendungen, bei denen eine