364 Prakt. Met. Sonderband 46 (2014)
entspricht. Durch abwechselnde Ausführung von Annular Milling und t-EBSD wird nun die Des V
Austenitkorngrenze in den ersten 200 nm der Spitze positioniert. allen |
Annul;
(oder
Auflös
Analys
3.2 PF
VERG
In Abk
den e
weiter
Abb. 2: REM-Aufnahme der angeatzten Atomsondenspitze. Die Griibchen weisen auf eine entlan
ehemalige Austenitkorngrenze hin (gelbe Pfeile) [11]. or Fo!
estin
Die Atomsondenmessung der fertigen Spitze erfolgt am Gerat LEAP 3000X HR im Laser ehem:
Modus mit einer Laserenergie von 0,3 nJ und einer Pulsrate von 250 kHz bei einer die da
Temperatur von 60 K. Die Target Evaporation Rate ist auf 1 % gesetzt. Die Auswertung
erfolgt mittels der Software IVAS 3.6.6 von Cameca.
3. ERGEBNISSE UND DISKUSSION
3.1 PARAMETERSTUDIE
Die Parameterstudie soll zeigen, welche Beschleunigungsspannung und welcher
Kippwinkel die Kikuchi-Beugungsbilder und dadurch die t-EBSD Analysen optimiert. Die
Qualität der t-EBSD Messung wird anhand von Image Quality Maps, überlagert mit
inversen Polfiguren, aufgezeigt. Wie in Abb. 3 ersichtlich, führt eine .
Beschleunigungsspannung von 30 kV zu einer besseren Durchstrahlung, wodurch auch Abb.
noch dickere Bereiche analysiert werden kénnen. um c
Kippwinkel ei
-50° -45° -35°
20 kV 30 kV 20 kV 30 kV 20 kV 30 kV
100 r
un
Abb. 3: Image Quality Maps, überlagert mit inversen Polfiguren, für verschiedene /
Beschleunigungsspannungen und Kippwinkel. Die Kristallrichtung in Bezug auf die inverse Abb
Polfigur-Kodierung ist parallel zu der Probenoberfläche. Ein typisches Kikuchi-
Beuqunasbild für Molybdän ist im rechten oberen Eck ersichtlich [8]. ar