Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 169 
weder eine ausgeprigte ungleichmifBige Abdiinnung der Probe noch Redeposition von abge- 
tragenem Material zu erkennen. 
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Bild 4: TEM-Bilder einer FIB-Lamelle aus geglühtem NiTi mit adhäsiv aufgebrachter Goldfolie; Übersichtsbild (a), 
Detailbild (b); die Oxidschicht lässt sich aufgrund der Kontraste eindeutig von der Goldfolie unterscheiden und Details 
zur ursprünglichen Topographie des Oxids sind erkennbar; die Oxidschicht kann bis direkt an die Grenzfläche 
Goldfolie/Oxidschicht in Hochauflösung abgebildet werden (b) bis (d). 
1 Zusammenfassung 
Ziel der vorliegenden Arbeit war es, am Beispiel des Werkstoffs NiTi aufzuzeigen, welchen 
Einfluss das Aufbringen der Beschichtungen i-Platin, e-Platin, Siliziumoxid und adhäsiv haftender 
Goldfolie zur Vorbereitung einer FIB-Präparation auf das Oxid auf geglühtem NiTi hat. Untersucht 
em Silziumoxid; wurde, inwieweit Topographie und Struktur oberflächennaher Bereiche erhalten bleiben und so für 
noxid ist aufgrand folgende Untersuchungen zugänglich sind. Wie erwartet führt die Beschichtung mit i-Platin zur 
seit amarohes Bildung einer amorphen Randschicht auf dem Oxid, deren Dicke mit ~30 nm aber unerwartet hoch 
ausfillt und sich am oberen Ende der Werte befindet, die in der Literatur fiir andere Materialien 
beschrieben wurden [1-3]. Außerdem kommt es zu erheblicher Implantation von Platin in das Oxid, 
fie Abgrenzung wodurch eine präzise Identifizierung der ursprünglichen Grenz-/Oberfläche des Oxids verhindert 
er ® dal wird. Durch Verringerung der in die Oxidschicht eingebrachten Energie bei Nutzung von e'-Platin 
(ue aber oder auch Beschichtung mit Siliziumdioxid verringern sich diese Effekte. Bei Einsatz der adhäsiv 
schicht. Die haftenden Goldfolien treten sie nicht mehr auf. Besonders bei Nutzung der Goldfolie ist daher 
iol erkennen. hochauflösende TEM bis an die Oberfläche des Oxids ohne Einschränkung durchführbar und die 
jie Grenzfliche Dicke geschidigter Bereich an der Oberfliche des Oxids bis auf ein Minimum reduziert. 
od Oxidschicht Gleichzeitig wird bei Verwendung adhésiv haftender Goldfolie die Gefahr einer Fehlinterpretation 
chen Goldfoli der Elementverteilungen im Wechselwirkungsbereich Schutzschicht/Oberfliche bei energie- 
| des Dünnens dispersiver Rötgenspektroskopie minimiert, da Beschichtung und Probe räumlich getrennt sind. 
pos Eine aufgrund von Hohlräumen zwischen Goldfolie und Oxidschicht auftretende Redeposition von 
ot sich! vom zuvor abgetragenem Probenmaterial oder ungleichmäßiger Dünnung der Probe ist im vorliegenden 
= den Fall war Fall nicht aufgetreten. Folglich ist die Verwendung der Goldfolie als Beschichtung vor einer FIB- 
" Präpartion eine einfache. kostengünstige und dennoch effektive Methode, die Oxidoberfläche auf )