Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 239 
Das Grolkammer-Rasterelektronenmikroskop 
A. Aretz, M. Spihn 
Gemeinschaftslabor fiir Elektronenmikroskopie GFE, RWTH-Aachen, Ahornstr. 55, D-52074 Aachen 
| Einführung: 
In vielen technologischen Bereichen sind Rasterelektronenmikroskope unersetzliche Werkzeuge 
geworden. Allerdings wird die Größe der zu untersuchenden Objekte durch die Bauweise konventi- 
oneller Mikroskope eingeschränkt. Dank des Großkammer-Rasterelektronenmikroskopes (Bild 1), 
wie es am Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie der RWTH Aachen eingesetzt wird, gel- 
ten diese Beschränkungen nicht mehr [1]. 
Dieses Mikroskop besitzt viele analytische Möglichkeiten, wie einen SE- und einen BSE-Detektor, 
ein EDX- und ein EBSD-System. Des Weiteren gibt es die Möglichkeit eines Variable Pressure 
N Modus, um im Niedervakuumbereich von bis 30 mbar auch nichtleitfähige Proben zu analysieren. 
2 Technische Daten: 
sunfo L600°C 
Elektronenoptik und REM Elektronik: 
Zeiss 1430 XVP 
idding alloys in Auflösung im HV- Modus liegt bei 10 nm 
201), 215-232 Variable Pressure (VP) Modus bis 3000 Pa 
Detektoren:  Everhart-Thornley Detektor fiir HV-SE 
caloy-4 at high Everhart-Thornley Detektor fiir VP-Modus 
Channeltron fiir HV-SE 
4-Quadranten RE Detektor fiir HV und VP 
on catide ar Analytik: ~~ EDX System Bruker 630-X-Flash Detektor 
the Institut» ~ SC MAPM 
EBSD System HKL mit NordlysII — Kamera 
; In-situ: -Drei- und Vier- Punkt- Biegeeinrichtung mit 
der combustor Heizmoglichkeit 
f the American -Ritzversuch 
Bild 1: GroBkammer-REM 
3 Was bedeutet „große Kammer“: 
Die Vakuumkammer hat eine Abmessung (Innenmaß) von 1400x1100x1200 mm’ (LxBxH). 
Die max. Probengröße beträgt 700 mm im Durchmesser, die max. Höhe der Proben 600 mm. (Pro- 
benlängen bis 1400 mm sind möglich, bei einem eingeschränktem Analysebereich und unter Ver- 
lust der Drehmöglichkeit.) 
Das max. zulässige Gewicht der Proben liegt bei 300 kg.