240 Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 
3.1 Positionierungsystem: 
5+1 Achsensystem mit Mikroschrittsteuerung und Wiederholge- 
nauigkeit von ca. 50 pm (Bild2). ta 
3.2 Positionierbereich: . 
X-Achse 600 mm ~~ Z-Achse 600 mm 
A-Achse 90° B-Achse 135° 
Bild 2: Positionsachsen C-Achse 360° D-Achse 350° 
4 Vorteile: 
Zerstorungsfreie Untersuchung großer Objekte mit Rasterelektronenmikroskopie (REM) und 
Mikroanalytik (EDX) 
Daraus folgt die Möglichkeit zur zyklischen Untersuchung von Bauteilen nach unterschiedli- 
chen Betriebsphasen. 
» In situ — Tests mit dedizierten Testeinrichtungen sind möglich. 
» Variable Pressure Funktion zur Untersuchung schwach- bzw. nichtleitfähiger Proben. 
5 Herausforderungen: 
Peripherie welche in der konventionellen Rasterelektronenmikroskopie nicht für Vakuum kon- 
struiert wurde, mussten für den Einsatz im Vakuum angepasst werden und stellen Risiken dar. 
Beispielsweise Detektorelektronik, Kühlwasserschläuche, etc. 
Größe, Aufbau und Gewicht der Anlage erfordern ein entsprechend dimensioniertes Dämp- 
fungssystem. Trotzdem ist die Kammer anfällig für Schwingungen, übertragen u.a. durch Pum- 
pen, vorbeifahrende Fahrzeuge, Schritte, usw. 
6 Anwendungsbeispiel: 
Einspritzdüsen (Injektoren) in der Automobilindustrie sind sehr beanspruchte Bauteile. Sie neigen 
sehr zu starken Verschmutzungen. An dieser Stelle kann eine gezielte Reinigung helfen, da die Rei- 
nigung einer Einspritzdüse kostengünstiger ist, als der Einbau eines neuen Injektors. Diese sind in 
der Fertigung nie baugleich. Daher reicht es nicht, sie einfach auszutauschen, da bei einem neuen 
Injektor Anpassungen am Motorsteuergerät vorgenommen werden müssen. Nach einer Reinigung 
ist dieses nicht von Nöten. 
In diesem Fall wurde eine solche Reinigung von einem Institut der RWTH—Aachen durchgefiihrt 
und die Einspritzdüsen uns vor und nach dieser Reinigungsprozedur zu Untersuchungszwecken zur 
Verfügung gestellt, um die Wirksamkeit der Reinigung elektronenoptisch und -analytisch nachzu- 
weisen.