248 Praokt. Met. Sonderband 47 (2015)
ein Ubersichtspektrum fiir die automatische Frequenzverfolgung und im Anschluss ein Spektrum in
der Nihe des Admittanz-Maximums aufgenommen werden.
3.3 Sekundir-Ionen-Massenspektromertie (SIMS)
SIMS-Analysen wurden mit einem Sekundir-Ionen-Massenspekrometer (Hiden Analytical Ldt., ©
Großbritannien) durchgeführt, welches mit Quadrupol-Filter ausgestattet ist. Als Primärionenstrahl
wurden Ar’-Ionen eingesetzt. Die Anregungsspannung betrug 5 keV. Die Tiefenachse wurde
nachträglich aus der Vermessung der Kratertiefe unter der Annahme einer konstanten Sputterrate
abgeschätzt.
4 Ergebnisse und Diskussion
4.1 TFC-Messungen
Die Dicke der Zinn-Schichten ist in Tabelle 1 angegeben. Die TFC-Messungen an den Proben 1 bis
3 ergaben dabei, dass nach dem ersten Aufschmelzvorgang keine weiteren Frequenzsprünge mehr
gemessen wurden. Der elektrische Widerstand des Resonators ändert sich zudem ebenfalls am
Schmelzpunkt der Zinn-Schichten. N
Tabelle 1. Dicke der Zinn-Schichten I } 2
Resonator Dicke der Zinn Schicht/ pm pM
. Profilometer-Messung Berechnung nach Sauerbrey-Glg. ;
Probe 1 0,72 0,69 :
Probe 2 1,38 1,02
Probe 3 1,83 1,42
Probe 4 2.83 2.28
Probe 5 147 » 75
Fiir die Proben 4 und 5 mit Schichtdicken von 2,2 bzw. 3,8 pm dagegen wurden Frequenzspriinge
gemessen, die deutlich größer sind als es gemäß den Literaturwerten nach [8] zu erwarten wäre.
Abbildung 4 zeigt, dass der Frequenzsprung bei diesen Proben mit zunehmender Anzahl an
Aufschmelzvorgängen tendenziell abnimmt.
Smet 1.024
a oo 5 Aufschmerien 1.022] —— 1Aufschmelzen
4 Aufschmezlen 4,020.1 1" 2 Aufschmelzen
0.9980 5 Aufschmezlen 10184 | 3 Aisinaan
6 Aufschmezlen -
7 Aufschmezien 1.016- 5 Aufschmelzen
5 0,9985 So chmezien 1014 - RB Aufschmelz- -
i 4,012
3 : 0.9580 ® 1,004
- 1.002
0,8975 1,000 4
0,998 ;
0.9970 Leer pr pT BER | N rer pr
120 130 140 150 180 170 180 180 200 210 220 230 50 160 170 180 190 20 210 220 230
Temperatur/ °C Temperatur‘ °C
Abbildung 4. Frequenzsprünge aller gemessenen Aufschmelzvorgänge der Proben 6 (links) und 7
(rechts). Der Resonanzfrequenzverlauf ist auf die Resonanzfrequenz bei Raumtemperatur normiert.
