256 Prakt. Met. Sonderband 47 (2015)
4. ZUSAMMENFASSUNG Ma
fur bs
Das anisotrope Gefiige von Mikrobiegebalken aus sinter-reaktionsgebundenem Siliziumnitrid wur-
de im Hinblick auf Gefiigeausbildung und Festigkeiten untersucht. Dabei wurde gezeigt, dass die
Priparationsroute iiber Warmeinbetten, kurzem Polieren und Plasmaätzen ausreichend ist, um ein be
Hohenrelief des Gefliges zu erzeugen, welches mittels Rasterelektronenmikroskop abgebildet wer- "U
den kann. Die erhaltenen Bilder konnten erfolgreich als Basis für die stereologische Auswertung der
Schliffe herangezogen werden. Bei Verteilungen mit einem einzelnen Maximum bei höheren Stre- rn
ckungsgraden konnte auf diese Weise ein Trend zu höheren Biegefestigkeiten zugeordnet werden. Ho
5. DANKSAGUNG Ee
Die Autoren danken Herrn Marko Riva und Frau Claudia Godard fiir das Plasmaitzen der Schliffe cd di
sowie der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) fiir die finanzielle Unterstiitzung im Rahmen nd dé
des Sonderforschungsbereichs 499 — Mikrourformen (www.sfb499.de). pene §
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