286 Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 
3.5 Hochauflésende Transmissionselektronenmikroskopie a 
Mittels eines Focused Ion Beam (FIB) des Typs FEI Quanta 200 3D wurde eine Lamelle für die N 
TEM-Untersuchung herauspräpariert. Die hochauflösenden TEM-Bilder (Bild 5 und 6), welche bis a 
hinunter auf die atomare Skala vergrößern, wurden mit einem FEI Tecnai G2 Supertwin realisiert. = 
x0. 13 
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Bild 5: y/y’-Mikrostruktur im TEM Bild 6: atomare Auflösung im TEM 
3.6 Energiedispersive Röntgenmikroanalye (EDX) 
Zus 
In dem verwendeten TEM ist eine EDX-Analyse integriert. Aus der geringen Probendicke der ' 
TEM-Lamelle resultiert ein kleines Wechselwirkungsvolumen bei der EDX-Analyse. Dies führt zu rir 
einer deutlich verbesserten analytischen Ortsauflösung im Vergleich zu EDX-Messungen im REM. Dee 
Das so gemessene EDX-Mapping wurde in dem Film zeitraffend animiert (Bild 7). > 
dx 
HSTRIBU- Mi 
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Bild 7: Animation des EDX-Elementenmappings im TEM