18 Prakt. Met. Sonderband 47 (2015)
erhält. Eine Quantifizierung der chemischen Zusammensetzung des Spitzenvolumens ist
einfach, da standardlos gearbeitet werden kann.
Eine große Herausforderung stellt die Probenpräparation dar. Üblicherweise werden die
Spitzen für die Atomsondentomographie mittels FIB-Technik hergestellt. Dabei wird ein
Materialstück, das den interessierenden Probenbereich enthält, mittels lift-out Technik an der
Spitze eines Probenhalters angebracht und dann die finale Spitze mit dem zu analysierenden
Volumen präpariert. So ist es möglich, zielgenau kleinste Volumina zu analysieren.
Halbleiter und Metall sowie verschiedene Metalloxide sind geeignete Objekte für die
Atomsondentomographie. So kann man mit dieser die Verteilung von implantierten Atomen
sichtbar machen, die Segregation von Atomen an Korngrenzen, die Interdiffusion innerhalb
von Schichtstapeln und die Phasenbildung im nm-Bereich nachweisen. Schichtstapel und
Strukturen, die SiO» enthalten, sind fiir die Atomsondentomographie nur bedingt geeignet.
Als Beispiel ist in Abb. 7 die thermisch induzierte Segregation von implantiertem As an die
Korngrenzen von polykristallinem Si gezeigt.
Abb. 7: 3D-Kompositionsanalyse eines Poly-Si Volumens mit As-Segregation an die Korngrenzen
6. Literatur
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