54  Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 
Cap 
Device layer 
. e | 
Backside wafer X-rays 
Figur 3: Rontgenmessung an der Grenzfliche eines Drucksensors p= 
Die resultierenden Messungen an dieser Grenzfläche sind in Figur 4 dargestellt. Bg | 
2500 - 
£3 
3 : 
> 1800 7 
7 900 - 
;2 400 — 
hal 
= | 
£100 -: 
re ae de 
98.30 98.32 9834 9836 9838 9840 
o 
®si220 / 
Figur 4: Rontgenmessung des Si(440) Reflexes an der Grenzfliche eines Drucksensors. Je grosser o, je kleiner das 
Gitter. Die beiden schmalen Pfeile zeigen die Extrempositionen an 
Aus dem Strain, der aus den obigen Réntgenmessungen bestimmt werden konnte wurde anschlies- 
send der Spannungsgradient berechnet (Fig. 5).