50  Prakt. Met. Sonderband 50 (2016) 
Winkel auf die Pr 
Abbildung 2: Geometrie des Versuchsaufbaus den. Dieser Proze 
obe fiir eine FIB/REM Tomographie mit EBSD. In nierung der FIB-£ 
ro der Abtragsposition (links) ist die Probe auf ei- 2. Durch eine me 
nen um 54° vorgekippten Halter montiert. Der 
ule at Probenkante gebr: 
Probentisch ist um 16° in entgegengesetzter : : 
Richtung gekippt. Der Ionenstrahl steht senk- eigentliche Tomo 
recht auf der Probenkante bzw. parallel zur Pro- derten Genauigke 
benoberfliche. Durch Rotation des Aufbaus um nen eine Herausfc 
180° wird die EBSD-Position (rechts) erreicht. 3. Beim sogenanr 
Die Normale der Probenoberfliche ist um 70 Hilfe des FIB fre 
zum einfallenden Elektronenstrahl gekippt. 
benhalter transfer 
Abbildung 3: Geometrie des Versuchsaufbaus 
x für eine FIB/REM Tomographie mit EBSD. In 
Tom der Abtragsposition (links) ist die Probe auf ei- 
nen um 36° vorgekippten Halter montiert. Der 
Probentisch ist zusätzlich um 16° gekippt. Der 
Ionenstrahl steht senkrecht auf der Probenober- 
fläche bzw. parallel zur Probenkante. Durch Ro- 
tation des Aufbaus um 180° wird die EBSD-Po- 
sition (rechts) erreicht. Die Normale der Proben- 
kante (Querschnittsfliche) ist um 70° zum ein- 
: fallenden Elektronenstrahl gekippt. 
Da der Detektor für die EBSD-Messung leicht unterhalb der Probe liegen muss, muss die untersuchte 
Probenstelle zwingend am Probenrand liegen. Abbildung 4 verdeutlicht die Situation an einer belie- 
bigen Probenstelle. Die Elektronen aus der freigelegten Querschnittsfliche werden durch die Probe 
abgeschirmt und erreichen nicht den EBSD-Detektor. 
Abbildung 4: Werden die FIB/REM Serienschnitte an einer beliebigen 
Probenstelle und nicht am Rand der Probe durchgefiihrt, so schirmt die Abbildung 5: ROI- 
Probe in der EBSD-Position die Elektronen ab und es kann keine EBSD- dem Mikromanipule 
Messung durchgefiihrt werden. pulator (e). Probenh 
K 
72 
©) Die Präparation « 
1 mikroskopie. Di 
; noch eine kleine 
ein Mikromanip: 
: dung zum umlie 
; Fp : EE . Standard TEM- 
Um dennoch an einer beliebigen Probenstelle messen zu können gibt es prinzipiell drei Vorgehens- ( : 
: Platinablagerung 
weisen: 2 
: teas . aE 2 : : trennt und die R 
1. Die Probe wird in der Konfiguration wie in Abbildung 2 ein wenig mehr gegen den Ionenstrahl 50) 
gekippt, sodass dieser nicht mehr exakt senkrecht zur Probenkante, sondern unter einem sehr flachen Mit Hilfe der RC 
rische Entladun: 
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