THREE DIMENSIONAL MAPPING BY COMBINING
TRANSMISSION AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPES
[Paper presented at the International Society for Photogrammetry, Commission V,
Symposium; August 14-17,1978; Stockholm, Sweden]
by
Sanjib K. Ghosh*, M.S. El-Ghazali*,
Marvin L. Deviney** and H.N. Mercer**
Abstract
Electron micrograph geometry produced by both, Transmission Electron Microscope
(TEM) and Scanning Electron Microscope (SEM), are better represented by a mathe-
matical model for parallel projection, subject to corrections for various distor-
tions, for most applications. Whereas TEM pictures give the details of the inside,
the SEM pictures give the surface feature configurations. The SEM and TEM micro-
graphs can be visualized as analogous to ordinary photographs and X-ray photogra-
phs, respectively. By combining their features in 3-D for the same object (sample),
the scientist would obtain information equal of which is impossible with any other
system. Recent research experience of developing procedures of such mapping on a
simple analytical plotter are discussed.
Resumé
La géométrie de micrographe électronique produit par le Microscope Electronique à
Transmission (TEM) et le Microscope Electronique à Balayage (SEM) est mieux repré-
sentée par un modèle mathématique pour la projection parallèle, sujet à la correc-
tion des distortions variées, pour la plupart des applications. Tandis que les
photos du TEM donnent les détails de l'intérieur, les photos du SEM donnent l'allure
de la surface. Les micrographes du SEM et du TEM peuvent être considérés comme
analogue aux photos normales et aux rayons X, respectivement. En combinant leurs
traits en trois dimensions pour le même objet (échantillon), le scientifique obtien-
drait une information qui n'a pas d'égale avec d'autre système. L'expérience récente
dans la recherche des procédures de développement d'une telle cartographie sur un
plotter analytique sera discutée.
Zusammenfassung
Für die meisten Anwendungen wird die Geometrie der Elektronenmikrographien aus
Durchlassongs- (DEM) sowie Raster (REM) Elektronenmikroskopen am besten durch ein
mathematisches Modell für parallele Projektion mit Berichtigungen für verschiedene
Verzeichnungen dargestellt. Wáhrend DEM-Aufnahmen die Einzelheiten des Innern
angeben, ergeben REM-Aufnahmen die Eigenschaften der Oberfläche. Die DEM- und REM-
Mikrographien kónnen beziehungsweise als Analoge zu gewóhnlichen Photographien und
Róntgenaufnahmen betrachtet werden. Durch Zusammenfügung der Eigenschaften des
gleichen Gegenstands (Probe) in drei Dimensionen wird es dem Wissenschaftler ermóg-
licht Erkundigungen zu gewinnen dergleichen mit keinem anderen System erreichbar
sind. Neuliche Forschungserfahrung in der Entwicklung von Verfahren für solche
Kartierung auf einem einfachen analytischen Gerät wird diskutiert.
* The Ohio State University, Department of Geodetic Science, Columbus, Ohio, USA.
** Ashland Chemical Co., R & D Center, P.0.Box 2219, Columbus, Ohio, USA.
